热电偶真空计和电离真空计是用于测量真空度的两种常见仪器,它们的工作原理有所不同,以下是它们的工作原理以及真空电离规除气的方法:
1、热电偶真空计测量原理:
热电偶真空计是基于物体在不同温度下产生的热电效应来测量真空度的,它主要包括一个被加热的热电偶丝和一个未被加热的参考端,当真空中的气体分子与热电偶丝发生碰撞并传导热量时,会改变热电偶丝的温度分布,从而改变其产生的热电势,通过测量这个热电势,可以推算出气体的压力,进而得到真空度。
2、电离真空计测量原理:
电离真空计是通过测量气体中的离子电流来测量真空度的,它包含一个被加热的灯丝,灯丝发射的电子在电场的作用下与气体分子发生碰撞并电离,产生离子,这些离子在电场的作用下形成离子电流,通过测量离子电流的大小,可以推算出气体的压力,进而得到真空度。
至于真空电离规的除气方法,主要有以下几种:
1、加热除气法:通过提高电离规内部温度,使吸附在规壁上的气体分子脱附并排出。
2、真空烘烤除气法:在较高的真空环境下对电离规进行烘烤,使气体分子从规壁上的吸附点脱附。
3、离子泵除气法:利用离子泵产生的高能离子轰击规壁,使附着在规壁上的气体分子被轰击下来并排出。
4、紫外线除气法:利用紫外线光子的能量使气体分子从规壁上脱附,这种方法通常在其他除气方法之后使用,以进一步提高真空度。
不同的除气方法适用于不同的场合和真空需求,需要根据具体情况选择合适的除气方法,除气过程中需要确保操作规范,避免对真空系统造成损害。